Смирнова Т.П. (ред.) - Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 37) - 2013.pdf
Смирнова Т.П. (ред.) - Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники (Интеграционные проекты СО РАН; вып. 37) - 2013.pdf- 17.88 MB